光伏行业Pecvd镀膜设备射频电源功率升级服务

发布时间:2022-01-03 阅览次数:130

光伏行业电池工艺更新换代日新月异,近期工艺方向逐渐由166转为182,由于工艺路线变化,原有的15KW射频电源已满足不了工艺时间的要求,需要将射频电源功率由15KW升级为20KW,改造后工艺镀膜时间与特气使用量均可降低,目前在光伏行业均有成功案例。目前成功改造的电源品牌有:AE,霍廷格以及国产电源品牌。